도 산하 공공기관인 나노소자특화팹센터는 버려지는 용수를 재활용해 연간 7천만원의 운영비를 절감했다고 8일 밝혔다.
클린룸에서 이뤄지는 반도체 제조는 설비 세정 등을 위한 초순수(고순도의 물)가 필요한데 초순수를 만드는 과정에서 나오는 폐수는 그동안 10% 정도만을 화장실 용수로 활용하고 나머지는 폐수처리장에서 처리해 방류해왔다.
센터는 환경보호와 운영비 절감을 위해 최근 초순수 제조 후 버려지는 폐수의 수질을 분석, 보일러나 냉각장치 등 일반설비에 재이용이 가능하다고 보고 지난달부터 재이용하기 시작했다.
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