국내 중소기업에서도 이미 8년 전 일본 수출 규제 품목 가운데 하나인 초고순도 불화수소(에칭가스) 제조 기술을 확보했던 것으로 나타났다.

22일 특허정보 검색서비스(KIPRIS)에 따르면 산업기계 제조업체 A사는 2011년 7월 ‘초고순도 불산(HF)의 제조방법’ 특허를 출원했고, 2013년 9월 특허가 등록됐다.

공개된 특허정보를 보면 이 제조법은 초음파 진동을 가하는 방법으로 불화수소(불산) 중에 수분을 제외한 불순물 성분이 1ppb(10억분의 1)만 남도록 하는 기술이다.

또한 특허 공개전문에 따르면 특정 상황에서는 불순물 농도가 최저 0.1ppb(100억분의 1)까지도 줄어들 수 있다.

국내 반도체 업체들이 일본으로부터 수입하던 불화수소는 순도 99.9999999999%(9가 12개)의 제품인 것으로 알려져 있으며 이는 불순물이 100억분의 1 수준만 함유돼 있다는 의미다.

반도체 업계 관계자는 “일본 제품보다 순도가 낮은 것은 사용해본 적이 없기 때문에 순도를 조금 낮춰도 괜찮을지는 아직 알 수가 없다”면서 “6개월 이상의 시간을 들여 테스트를 해봐야 한다”고 말했다.

또한 이 기술을 개발하기 위해 A사는 중소벤처기업부 출범 전 중소기업청의 지원을 받아 연구를 수행한 것으로 알려졌다.

해당 특허 출원 직후인 2011년 7월 26일 A사의 공식 홈페이지에 올라온 게시글에서 회사는 “2010년 중소기업청 주관의 중소기업기술개발지원사업 중 ‘중소기업기술혁신사업’으로 수행한 연구과제를 수행했다”면서 “이 과제와 관련 특허 출원을 완료했다”고 설명하고 있다.

중소기업기술개발지원사업은 당시 중소기업청이 중소기업 유망기술개발을 지원해 중소기업의 성장을 돕는 사업으로 현재는 중소벤처기업부가 주관하고 있다.

게시글을 보면 회사는 2010년 해당 사업 지원 대상에 선정돼 1억8천500만원의 연구비를 책정받았다.

하지만 A사 관계자에 따르면 특허 출원 이후 초고순도 불화수소의 생산과 판매까지는 나아가지 못했다.

제조 공장과 함께 각종 장비에 대한 설비투자가 필요한데, 실제 판매가 가능할지 확정할 수 없는 상황에서 섣불리 추가 투자 결정을 내리지 못한 것으로 알려졌다.

업계 관계자는 “대기업 입장에선 아직 생산된 적도 없는 제품에 선뜻 투자하기가 어렵고 중소 업체 또한 불확실성을 고려해 더는 투자하지 않기로 결정을 내린 것”이라고 말했다.

/이주철기자 jc38@