국내 연구진이 기존에 알려진 금속과는 다른 성질을 가진 새로운 비정질 준금속 나노 극초박막 물질을 개발하는 데 성공했다.

3일 아주대학교는 오일권 아주대 교수(지능형반도체공학과·전자공학과) 국제 공동 연구팀이 반도체 배선 물질로 사용되는 극초박박에서 비저항이 작아지는 차세대 금속 물질을 개발했다고 밝혔다.

해당 내용은 '극초박막 비정질 NbP 준금속 내 표면 전도와 전기 비저항의 감소'라는 제목으로 글로벌 학술지 '사이언스'(Science) 1월호에 게재됐다.

아주대 연구팀이 개발한 위상 준금속 물질은 기존 금속들과는 정반대로 극초박막에서 비저항이 오히려 작아지는 특성을 보인다. 현재 반도체 공정에 적용할 수 있을 정도로 호환성이 월등하다.

또 원자층 증착 공정 기반의 위상 준금속 공정을 개발하는 중이다. 원자층 증착법은 물리 기상 증착법에 비해 원자 단위로 박막의 두께를 조절할 수 있어 미세화에 적합해 상용화에 더 가까운 기술로 평가받고 있다.

오 교수는 "과학자로서 '왜?'라는 호기심을 놓치지 않고 꾸준히 새로운 분야에 대한 연구를 이어왔다"며 "그동안 시도된 적 없는 연구를 통해, 완전히 새로운 물질에 대해 처음으로 실험적으로 입증해 냈다는 점에서 의미 있는 성과"라고 말했다.

이어 "이번 연구를 통해 확보한 신개념 금속 물질은 한계에 직면한 미래 반도체 기술의 돌파구가 될 수 있다"며 "미래 반도체 산업의 주도권을 선점할 원천기술로 활용될 수 있을 뿐 아니라, 응용 가능성이 무한하다"고 덧붙였다.

[ 경기신문 = 장진 기자 ]